2月25日，日本新能源产业技术综合开发机构（NEDO）宣布在“绿色创新基金”框架下，投入1376亿日元（约合69.8亿元人民币）启动“下一代数字基础设施建设”项目^[1]，旨在开发下一代绿色功率半导体和绿色数据中心，助力实现碳中和目标。该项目的实施期为2021~2030年，目前已确定资助3个主题下的9个课题。

1、下一代功率半导体器件制造技术开发。将开发可应用于电动汽车、工业设备、可再生能源发电、服务器等电力设备的功率半导体，实现到2030年使用下一代功率半导体的转换器功率损耗降低50%以上，并量产实现与传统硅功率半导体相同的成本。资助4个课题：下一代8英寸碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管；下一代高功率转换器用碳化硅模块；下一代电动汽车功率半导体制造技术；下一代高功率密度工业电源氮化镓功率器件。

2、下一代功率半导体晶圆技术开发。将开发大尺寸、高质量碳化硅晶圆的低成本量产技术，到2030年将8英寸碳化硅晶圆的缺陷密度降低一个数量级以上，并降低生产成本。资助3个课题：高质量低成本8英寸碳化硅晶圆开发；高质量8英寸碳化硅单晶/晶圆制造技术开发；下一代绿色功率半导体碳化硅晶圆技术开发。

3、下一代绿色数据中心技术开发。将光电融合技术用于数据中心，实现节能、大容量、低延迟，目标是比当前技术节能40%以上。资助2个课题：元件装置的省电技术、光布线技术及分解技术开发，包括开发数据中心基础设备（CPU、加速器、内存等）的省电技术、实现芯片间光布线的光电融合技术，此外还将服务器划分为功能单元，针对计算负荷进行优化配置，开发旨在提高整个系统效率的分解技术；非易失性存储器开发，将开发使用单层碳纳米管的下一代高速、大容量、低成本非易失性存储器。                                           （岳芳）