5月22日，新加坡科技研究局（A*STAR）通过“共同创新”（Innovate Together）活动宣布了一系列半导体战略举措，旨在巩固新加坡作为全球高价值半导体研发中心的地位^[1]。通过开放研发平台和建立全球合作网络，致力于应对行业挑战并在全球半导体格局中抓住新的发展机遇。具体举措包括以下三个重要项目：

1、全球首条200毫米碳化硅开放研发线。A*STAR微电子研究所推出全球首条200毫米碳化硅（SiC）开放式研发生产线，提供从材料生长和缺陷分析到器件制造和测试的完整的SiC开发能力。该研发线旨在解决复杂的碎片化开发流程以及缺乏合作和知识共享的问题，从而提加快研究人员和企业的研发速度。目前，微电子研究所已与多家全球领先的设备和材料供应商建立了紧密合作关系。例如，ASM公司贡献了PE108工具，用于沉积高质量的SiC外延层；centrotherm公司提供了c.ACTIVATOR 200和c.OXIDATOR 200工具，用于高温SiC退火和氧化工艺。

2、“实验室-制造工厂”（Lab-in-Fab）倡议2.0阶段。微电子研究所、意法半导体和ULVAC将扩大合作伙伴关系，引入A*STAR材料研究与工程学院以及新加坡国立大学，旨在共同加速新型压电材料与设备的开发，同时聚焦可持续发展，着重利用掺钪氮化铝（ScAlN）等环保材料来打造更节能高效的无铅压电MEMS传感器。

3、“EDA Garage”设计工具平台。微电子研究所、新加坡企业局以及Cadence、Keysight和Synopsys等电子设计自动化公司共同打造“EDA Garage”平台。通过提供按需付费的工具许可证、专业培训和技术支持，显著降低企业进入半导体设计领域的门槛。此外，微电子研究所将为所有参与公司提供专用服务器及数据备份服务，确保设计硬件的安全性与合规性。

（董金鑫）